GB/T 32278-2015 碳化硅單晶片平整度測試方法

標準號：GB/T 32278-2015

　　中文標準名稱：碳化硅單晶片平整度測試方法

　　英文標準名稱：Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers

　　標準狀態(tài)：現(xiàn)行

　　中國標準分類號：(CCS)H21

　　標準分類號：(ICS)77.040

　　發(fā)布日期：2015-12-10

　　實施日期：2017-01-01

　　主管部門：標準化管理委員會

　　歸口單位：半導體設備和材料標準化技術委員會

主要起草單位

　　北京天科合達藍光半導體有限公司 、中國科學院物理研究所 。

主要起草人

　　陳小龍 、鄭紅軍 、張瑋 、郭鈺 。

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